システムLSI（SoC: System on a Chip）は、約3年ごとに0.7倍のペースで微細化が進んでいます。この微細化のトレンドのことは、スケーリング則やムーアの法則、またはデナードの法則とも呼ばれています。
スケーリング則では0.7倍のスケールダウンにより単位面積あたりの集積密度が2倍になり、同一電圧で1.7倍高速化し、消費電力が半分になる性能向上が図られます。スケーリング則と素子構造および回路パラメータとの関係について、詳しくは下図を参照してください。
下図でKはスケーリング係数(<1)であり、約3年でｘ0.7 です。
次は、LSI低電圧化の流れについて説明します。